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工件研磨的效率与磨料密切相关,主要两种磨料方式加入研磨过程,盐田太阳纹机哪家好,一种是外加磨料,宝安太阳纹机哪家好,也称为游离磨料,它的缺点是上磨盘磨料供应不足,太阳纹机哪家好,研磨盘上磨料分布不均匀,大部分研磨料未参与研磨,成本较高,工艺稳定性较差。另一种是Laptech 将磨料固定在研磨盘中,也称为固着磨料,成功解决了上磨盘磨料供应不足,大鹏太阳纹机哪家好,研磨盘上磨料分布不均匀的工艺问题,研磨成本大幅度下降。
单面研磨的工作示意图如图1所示。被加工晶片粘贴于工件盘上,研磨盘由电机带动以一恒定的转速做匀速圆周运动,工件盘与被加工晶片在受到与研磨盘之间的摩擦力作用,由静止到以一恒定的角速度作匀速转动。
双面研磨方式:进行高质量平行平面研磨时使用双面研磨方式。双面研磨法能避免由夹具的粘结误差及薄片工件两面的应力差引起的变形问题。
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